本公司已訂定「公司治理實務守則」，董事會成員組成應考量多元化，應就公司經營發展規模及其主要股東持股情形，衡酌實務運作需要，決定九人以上之適當董事席次。本公司董事會成員應普遍具備執行職務所必須之知識、技能及素養。為達到公司治理之理想目標，其相關說明詳下表：
中興大學歷史系/企管輔系
高偉賓
輔仁大學統計系
本公司獨立董事暨審計委員
源晟真空科技股份有限公司董事長
董事會專業性、獨立性、多元化落實情形
本公司第18屆董事會由 9 位董事成員組成（含 4 名獨立董事），整體具備營業判斷、領導決策、經營管理、國際市場觀、危機處理等能力，且有產業經驗和專業能力；其中4位獨立董事中，蔡清雲獨立董事、黃文道獨立董事為銀行專業經理人，蔡崇禮獨立董事為建設相關產業負責人，高偉賓獨立董事為高爾夫相關產業負責人，分別具有財務會計、產業知識及營運判斷等專業。
另5位非獨立董事中林萌俐董事、林萌姸董事具有財務會計專業能力及管理等經驗。
以及林進能董事長、高清松董事、林昌享董事，均有擔任上市櫃公司之董事長或經理等重要管理職務經驗。
公司產業含括建設、傳統製造業等，具備行銷、經營管理、產業知識及營運判斷等專業能力。
董事多元化面向、互補及落實情形已包括且優於本公司「公司治理實務守則」第21條載明之標準；未來仍就視董事會運作、營運型態及發展需求適時增修多元化政策，包括但不限於基本條件與價值、專業知識與技能等二大面向之標準，以確保董事會成員應普遍具備執行職務所必須之知識、技能及素養。
本公司董事平均任期為 3 年，其中林萌俐董事及黃文道獨立董事任期年資在 3 年以內；蔡清雲獨立董事任期年資為11年，其餘獨立董事均未超過三屆。董事成員皆為本國藉，組成結構占比分別為4 名獨立董事 44%；1 名具員工身份之董事 11%。董事成員年齡分布區間計有 3 名董事年齡位於 50-60 歲、1 名董事位於 61-70 歲及5 名董事位於 71-80 歲。 除前述外，本公司亦注重董事會組成之性別平等，本屆董事成員包含 2 位女性成員，女性董事占比達 22%，未來將盡力增加女性董事席次，以達成目標，本公司無證券交易法第26條之3規定第3項及第4項規定情事。
董事會基本組成如下：
